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高良率10.5代線生產設備助力顯示產業向技術優勢轉變
出自:大半導體產業網

半導體技術革命帶動全球顯示產業蓬勃發展,推進未來超大屏幕、超高解析度(8K)電視、折疊屏、Micro-LED、原生裸眼3D等等應用的到來,應用材料公司顯示產品與柔性技術事業群副總裁James Xiao表示,LCD向8.5代-10.5代發展是一個不可逆的趨勢,預計8K將在2020年、2021年的時候開始廣泛推廣,另一方面,未來10.5代的OLED也會開始出現,最終走向RGB OLED。

憑借在半導體設備領域積累的經驗,應用材料公司在顯示行業打下了堅實的基礎,每年在研發方面的大量投入,帶動了應用材料公司與半導體及先進顯示產業的共同成長。應用材料公司顯示產品與柔性技術事業群副總裁兼首席營銷官Max McDaniel表示,平均來看,電視的尺寸每年增加約1 - 1.5英寸,顯示屏面積與臺數的增加,使得電視面板面積市場需求量整體年均復合增長率達到7%,在面板經濟學的驅動下,大尺寸電視市場尤其是65寸以上的電視市場得以快速增長,加之8K超高清顯示的出現,給顯示企業提出了更高端、更艱巨的技術挑戰。

為此,應用材料公司此次推出了10.5代線及以上的成套生產設備,能夠有效助力顯示企業客戶降低生產成本,在高端電視市場占據領先地位。



顯示行業面臨的挑戰來自于超大、超薄玻璃,鍍膜速度、真空設備、顆??刂?、物流能力等等。比如當顯示設備面積越大或者相關尺寸越長時,等離子體越容易產生駐波效應,利用HCG、HCE等離子體控制專屬技術將等離子體約束起來并使之均勻化。另一方面,超大尺寸的顯示屏需要將金屬的導線層加厚以降低連接電阻,為應對加厚金屬層帶來的越來越大的應力,應用材料公司的PVD設備推進旋轉陰極技術與磁懸浮技術以得到更均勻的金屬膜層,同時大幅度降低顆粒污染。

應用材料公司顯示產品及柔性技術事業群良率技術部總經理Peter Nunan說:“世代越來越大,隨之良率的挑戰也會越來越大?!?面對電視的尺寸和電視的精密度要求,要將整個設備的成膜均勻度提高三倍,同時將污染顆粒的單位面積密度降低10倍,才能滿足10.5代以上的基板生產要求。



進入納米時代后,Peter表示工廠的管理效率提升就是從過去看不清的光學檢測技術,進化到更先進的電學技術分析查找并解決生產問題,從而達到提升效率的目的。他進一步介紹道,為滿足更新的要求,應用材料公司將電子束測試設備擴展到用一整套電子束產品來檢測所有的產品,例如電子束檢視設備“EBR”可以隨時在線并且以高分辨率定位玻璃基板的問題位置,把很多設備問題,包括曝光機、刻蝕機、清洗機等的問題在線即時查找出來,相比傳統的方式需要花費一天的分析時間,此方法花費一分鐘就能找到問題并追根溯源。縮短良率爬坡時間和穩定理想的良率,對每一個工廠來說可以節省大量開支。

不管是背板技術還是前板技術,對材料的創新都提出了一些新的要求,半導體材料從傳統的非晶硅轉向金屬氧化物來驅動,業界認為下一步的創新可能是從非晶硅TFT到金屬氧化物TFT。為此,應用材料公司整合CVD跟PVD部門提供單一設備和工藝解決方案,以及工藝整合的解決方案,使TFT工藝中IGZO金屬氧化物的TFT特性達到一個最佳化。

本文作者 Jenny

 

 

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文章收入時間: 2019-03-27
 
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